日本堀場HORIBA質(zhì)量流量控制
堀場質(zhì)量流量控制器（Horiba Mass Flow Controller）是由日本堀場儀器（Horiba Instruments）公司設(shè)計和生產(chǎn)的一種流量控制設(shè)備。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于氣體流量的測量和控制領(lǐng)域。
堀場質(zhì)量流量控制器的工作原理基于熱物性原理（Thermal Property Principle）。它利用熱敏傳感器測量氣體流過的質(zhì)量和溫度，并根據(jù)預(yù)設(shè)的流量設(shè)定值自動調(diào)節(jié)控制閥來實現(xiàn)流量控制。該技術(shù)具有精度、穩(wěn)定性和快速響應(yīng)的特點。
堀場質(zhì)量流量控制器具有以下特點和應(yīng)用優(yōu)勢：
精度：堀場質(zhì)量流量控制器能夠在較寬的流量范圍內(nèi)提供精度的流量控制，通?？蛇_(dá)到0.5%的精度。
快速響應(yīng)：該設(shè)備具有快速的響應(yīng)時間（通常在幾毫秒級別），能夠迅速調(diào)整流量以適應(yīng)變化的需求。
寬流量范圍：堀場質(zhì)量流量控制器可覆蓋從微量流量到大流量的范圍，滿足不同應(yīng)用場景的需求。
多種氣體適應(yīng)性：它可以適應(yīng)各種常見氣體的流量控制，包括惰性氣體、腐蝕性氣體和精度要求的氣體。
可編程控制：堀場質(zhì)量流量控制器具有多種接口和通信協(xié)議，可以與計算機(jī)或自動化系統(tǒng)進(jìn)行集成控制。
堀場質(zhì)量流量控制器在半導(dǎo)體制造、光伏產(chǎn)業(yè)、化學(xué)工程、環(huán)境監(jiān)測和科學(xué)研究等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。它為這些領(lǐng)域的工程師和研究人員提供了一種可靠、精確的流量控制解決方案。
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