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HORIBA MV-2000 系列混合注入系統(tǒng)液體汽化器
HORIBA IR-400 用于腔室清洗終點監(jiān)測的高級氣體監(jiān)測儀
HORIBA IR-300 蒸汽濃度監(jiān)測儀
HORIBA GR-511F 晶圓背面冷卻系統(tǒng)
HORIBA GR-300 系列 晶圓背面冷卻系統(tǒng)
HORIBA QL系列微孔系統(tǒng)
MCMillan麥克米蘭 質(zhì)量流量計系列
HORIBA質(zhì)量流量計S48-BR111輸出0-5V質(zhì)量流量控制器50SLM
OMEGA奧米佳 FMA-4100/4300系列可編程氣體質(zhì)量流量計和累加器 適用于潔凈氣體
OMEGA奧米佳 FMA3100系列經(jīng)濟(jì)型氣體質(zhì)量流量控制器和流量計 適用于潔凈氣體
OMEGA奧米佳 FMA-A2000系列氣體質(zhì)量流量計和控制器 可選配一體式顯示屏,用于測量潔凈氣體
HORIBA堀場壓力不敏感型數(shù)字式質(zhì)量流量控制器SEC-Z700S
HORIBA堀場壓力不敏感型數(shù)字式質(zhì)量流量控制器SEC-Z700X
HORIBA堀場質(zhì)量流量控制器E40V/E50V
HORIBA堀場壓力調(diào)節(jié)閥PV-1000/2000
HORIBA堀場電容壓力計VG200
HORIBA堀場電容壓力計VG200S
HORIBA堀場UR-Z700數(shù)字式自動壓力調(diào)節(jié)器
OMEGA奧米佳 FMA-1600A質(zhì)量和體積流量計
HORIBA堀場高溫數(shù)字質(zhì)量流量控制器 SEC-8000F/D系列
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