日本HORIBA堀場質(zhì)量流量控制器SEC-N100好不好
作為一款專門針對(duì)非芯片半導(dǎo)體制程開發(fā)的質(zhì)量流量控制器,HORIBA堀場的SEC-N100在市場上引起了廣泛關(guān)注。其出色的性能和多樣的功能使其在非芯片半導(dǎo)體工藝中得到了廣泛應(yīng)用。首先,SEC-N100具備高度的兼容性,它提供了數(shù)字式和模擬式通信方式,包括RS-485、DeviceNet、Profibus以及模擬式(電流/電壓),這使得它能夠輕松與其他系列產(chǎn)品進(jìn)行兼容,滿足不同客戶的需求。
一、日本HORIBA堀場質(zhì)量流量控制器SEC-N100好不好
SEC-N100的一個(gè)顯著特點(diǎn)是其高精度控制能力。該產(chǎn)品選用了與SEC-Z500系列相同的傳感器和旁路,能夠?qū)崿F(xiàn)±1.0%設(shè)定流量的高精度控制。此外,SEC-N100還具備快速響應(yīng)的特點(diǎn),在可控流量范圍內(nèi),其響應(yīng)時(shí)間不超過1秒,并且內(nèi)置PID參數(shù),可以根據(jù)需要調(diào)整響應(yīng)時(shí)間。這些特性使得SEC-N100在精細(xì)控制和快速響應(yīng)方面表現(xiàn)卓越,滿足了許多高要求工藝的需求。
此外,SEC-N100的復(fù)合氣體和復(fù)合量程特性也是其優(yōu)勢(shì)之一。用戶可以方便地在客戶端更改對(duì)應(yīng)的氣體和量程,這為不同制程規(guī)范的要求提供了極大的靈活性。同時(shí),SEC-N100的氣閥種類多樣,包括電磁閥和壓電陶瓷閥,最大流量分別可達(dá)50SLM和200SLM,進(jìn)一步增強(qiáng)了其適應(yīng)性和應(yīng)用范圍。
在材料和接口方面,SEC-N100采用了橡膠或金屬材質(zhì)的密封圈,并且氣路表面未經(jīng)拋光處理,提供了可靠的密封性能和耐用性。其僅有的VCR接口設(shè)計(jì)也保證了其在特定應(yīng)用中的穩(wěn)定性和安全性。此外,SEC-N100還符合RoHS要求,體現(xiàn)了HORIBA在環(huán)保方面的承諾。
綜上所述,HORIBA堀場的SEC-N100質(zhì)量流量控制器憑借其高度的兼容性、高精度控制、快速響應(yīng)以及靈活的復(fù)合氣體和量程特性,成為非芯片半導(dǎo)體制程中不可或缺的工具。其在材料和接口設(shè)計(jì)上的細(xì)致考慮以及對(duì)環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)的遵守,進(jìn)一步凸顯了其作為高性能流量控制器的卓越品質(zhì)。在實(shí)際應(yīng)用中,SEC-N100無疑將為用戶帶來顯著的效率提升和可靠的控制效果。
二、上海進(jìn)佳科學(xué)儀器有限公司介紹
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