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HORIBA GR-300 系列晶圓背面冷卻系統(tǒng) 簡介

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品品牌

HORIBA堀場

產(chǎn)品類型

質(zhì)量流量計/控制器

可售賣地

面議

價格區(qū)間

面議

供貨總量

面議

售后服務(wù)

完善

產(chǎn)品簡介

GR-300 系列可以控制用于冷卻晶圓背面的氣體，晶圓通過靜電卡盤系統(tǒng)固定到位。 GR-300 系列的穩(wěn)定性和精確性使其成為控制晶圓冷卻系統(tǒng)中氦氣和氬氣流量的理想選擇。

HORIBA GR-300 系列晶圓背面冷卻系統(tǒng)(GR312) 介紹

型號：GR312
壓力控制范圍：1-100%
壓力：13.33KPA(100Torr)
壓力精度：±0.5%FS
壓力輸出：0-10VDC
電源：±15VDC

HORIBA GR-300 系列晶圓背面冷卻系統(tǒng) 詳情介紹

優(yōu)點：
壓力控制更加穩(wěn)定和精確

即使壓差非常低，也使用高精度壓電閥來控制壓力。安裝了一個高精度的壓力傳感器，用于測量<1%F.S范圍內(nèi)的出口壓力。

質(zhì)量流量傳感器（可選）

通過應(yīng)用HORIBA STEC 質(zhì)量流量產(chǎn)品中成熟的流體控制技術(shù)，該產(chǎn)品能夠?qū)崿F(xiàn)微小的差壓控制，并添加氣體流量監(jiān)測（帶質(zhì)量流量傳感器）以實現(xiàn)自診斷功能。

符合 RoHS 標準

GR-300系列使用不破壞環(huán)境且符合最新RoHS法規(guī)的零件

HORIBA GR-300 系列晶圓背面冷卻系統(tǒng)產(chǎn)品規(guī)格

HORIBA GR-300 系列晶圓背面冷卻系統(tǒng)參數(shù)

關(guān)于進佳儀器

上海進佳科學(xué)儀器有限公司，擁有多個國外儀表行業(yè)品牌的授權(quán)代理證，旗下每一個品牌均歷經(jīng)市場的考驗。公司團隊擁有豐富的從業(yè)經(jīng)驗以及扎實的專業(yè)知識，對各個品牌的產(chǎn)品優(yōu)勢和市場定位有深入了解。公司始終秉持以客戶為中心的理念，致力于為客戶提供全方位、個性化的服務(wù)解決方案。

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