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日本HORIBA堀場數(shù)字式液體質量流量計LF/LV 簡介
產品參數(shù)
產品品牌
HORIBA堀場
產品類型
質量流量計/控制器
可售賣地
面議
價格區(qū)間
面議
供貨總量
面議
售后服務
完善
產品簡介
隨著半導體器件快速一體化的發(fā)展，越來越多的細節(jié)需要考慮其中，同時新的材料也被引入 300nm 晶圓制程以確保產品性能。在這樣的背景下，更多的液體被應用到半導體生產過程中，流量需求不斷增大。作為該領域的領導者，HORIBA STEC 提供了一整套的液體源汽化控制系統(tǒng)，利用加熱、直接注入、混合注入等不同方式確保平穩(wěn)有效的將氣體傳送到反應室。自動供液系統(tǒng)能不間斷的安全可靠的傳輸液體，從而提高工作效率，同時有效降低了操作員的手動操作以及制程污染風險。
日本HORIBA堀場數(shù)字式液體質量流量計LF/LV(LF-F20M-A) 介紹
型號：LF-F20M-A
類型：流量計
電源：±15V
精度：±1% F.S.
測量范圍：5-100% F.S.
輸出方式：模擬: 0 to 5 VDC 數(shù)字: RS485
溫度：5to50℃ (精度保證15to45℃)
接液材質：SUS316L, Ni
量程g/min：0.02/0.05/0.1
類型：流量計
電源：±15V
精度：±1% F.S.
測量范圍：5-100% F.S.
輸出方式：模擬: 0 to 5 VDC 數(shù)字: RS485
溫度：5to50℃ (精度保證15to45℃)
接液材質：SUS316L, Ni
量程g/min：0.02/0.05/0.1
日本HORIBA堀場數(shù)字式液體質量流量計LF/LV 詳情介紹
數(shù)字式液體質量流量計LF-F
這是一款具備冷卻測試方式的液體質量流量計，可精確檢測低沸點和高粘度液體的流量，儀器內部進行超潔凈處理并符合RoHS 環(huán)境標準
- 提供超低微小流量檢測
- 抗壓性 : 10MPa
- 超潔凈
數(shù)字式液體質量流量計LV-F
這是一款具備冷卻測試方式的流量傳感器，可精確控制低沸點和高粘度液體的流量，儀器內部進行超潔凈處理并符合 RoHS 環(huán)境標準
- 提供超低微小流量控制
- 可精準控制低沸點和高粘度液體
- 抗壓性 : 1MPa
- 超潔凈
日本HORIBA堀場數(shù)字式液體質量流量計LF/LV產品規(guī)格
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