關于流量單位

質量流量計測量的質量流量，不受壓力和溫度的影響。當通過流量表示質量，必要的使用單位，如g/min和kg/min， 不同于一般流體測量單位。一般情況，通過基準壓力和溫度等決定條件來表示體積流量。目前，Pa•m3/s，與SI單位一致，一般使用單位SCCM和SLM，作為主流仍在使用。

SCCM是標準立方厘米每分鐘單位的縮寫，在0°C時、1個大氣壓下是cc/min。而SLM是標準升每分鐘的縮寫，相同的條件下顯示L/min。其他流量單位，目前如果為經認證的計量單位，可用于我們產品的校準和生產。在一些半導體產業(yè)以外的行業(yè)， SCCM和SLM被定義為單位在20°C和1個大氣壓力下，在0°C和1個大氣壓下單位為NCCM和NLM。關于HORIBA質量流量儀表的流量顯示，標準溫度和壓力的單位為SCCM（ 0°C，1 atm時）和NLM（0°C，1 atm時）。