質(zhì)量流量計(jì)質(zhì)量流量控制器實(shí)際氣體的校準(zhǔn)和因素轉(zhuǎn)換方法

質(zhì)量流量?jī)x表以氮?dú)鈿怏w作為標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)。熱式傳感器精度不能保證，除非他們用實(shí)際氣體校準(zhǔn)。我們公司用于標(biāo)定的實(shí)際氣體為N2, O2, H2, He, CO2和Ar 。關(guān)于其他氣體，根據(jù)一定的轉(zhuǎn)換系數(shù)CF，可以變?yōu)镹2校準(zhǔn)。

舉例來(lái)說(shuō)，當(dāng)質(zhì)量流量計(jì)中是Ar，我們用N2來(lái)校準(zhǔn)。由于AR的CF是1.4，比質(zhì)量流量器的讀數(shù)大1.4倍的Ar流入。換言之， Ar的流量 = 1.4×N2質(zhì)量流量器的讀數(shù)。CF則是計(jì)算各種氣體的基礎(chǔ)上積累所得的數(shù)據(jù)。然而 ，某種氣體CF可能不完全一樣，取決于實(shí)際氣體的狀態(tài)（溫度和壓力），質(zhì)量流量器傳感器的類型，層流素子的組成。 公布的CF值只是作為一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)。

如果您希望用實(shí)際氣體標(biāo)定，而不使用CF，請(qǐng)告知實(shí)際氣體，我們將用它來(lái)校準(zhǔn)（這將產(chǎn)生單獨(dú)的費(fèi)用）。然而，我們?cè)阼b于產(chǎn)品的和設(shè)施的安全時(shí)不能接受一些危險(xiǎn)氣體。關(guān)于細(xì)節(jié)，請(qǐng)先與我們聯(lián)系。