關(guān)于質(zhì)量流量計儀器儀表技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)說明

目錄中質(zhì)量流量計的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)的說明，基本上符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)。 以下說明代表性的規(guī)格產(chǎn)品。

（1）精度

精度表示形式是“滿刻度的± ％ ” 。 這個數(shù)值是相對于基準(zhǔn)流量計，使用標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)氣體N2時的誤差值。因此，當(dāng)精度是± 1 ％ ，滿刻度50 SCCM，流速將保證，“不確定性”50 ×（1/100）=±0.5 sccm，作為我們的標(biāo)準(zhǔn)流速。

（2）可重復(fù)性

“滿刻度± ％ ”的形式和精確性相同。此值表示在同的環(huán)境條件下設(shè)定得到的流量，與我們公司標(biāo)準(zhǔn)流量計測量所得值的偏差。 環(huán)境條件不同，偏差值各有不同。

( 3 ) 應(yīng)答性

0流量開始控制，質(zhì)量流量計保證精度98%。漸近線時，很困難的，所以通常采用這種記錄表示。

注意：流量計表示值是氮氣（或空氣）作為介質(zhì)情況下精度值。因此，當(dāng)各種氣體和壓力條件不同，即使流量相同，也可能因為介質(zhì)問題產(chǎn)生的讀數(shù)不同，請先與我們聯(lián)系。